發(fā)布時(shí)間： 2019-07-26 點(diǎn)擊次數(shù)： 1410次
勻膠旋涂?jī)x工作原理是高速旋轉(zhuǎn)基片，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的涂在基片上，勻膠機(jī)常用于各種溶膠凝膠（Sol-Gel）實(shí)驗(yàn)中的薄膜制作，厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同，也和旋轉(zhuǎn)速度及時(shí)間有關(guān)?？梢栽O(shè)定多達(dá)20個(gè)程序段來存儲(chǔ)不同材料的制備過程，每個(gè)程序段都能設(shè)定51步速度改變，當(dāng)前參數(shù)具斷電保護(hù)功能。
勻膠旋涂?jī)x具有速度精度高、轉(zhuǎn)速穩(wěn)定、旋轉(zhuǎn)加速度可控、勻膠過程多段程序控制等特點(diǎn)。主要用于微電子、半導(dǎo)體、太陽能電池、新能源、生物材料、光學(xué)器件等領(lǐng)域的表面涂膜工藝，例如各類納米薄膜材料、光阻涂層、生物功能涂層的制備。
勻膠旋涂?jī)x產(chǎn)品特點(diǎn)介紹：
★可更換陽極氧化鋁加熱轉(zhuǎn)盤，標(biāo)準(zhǔn)尺寸Φ10，Φ25，Φ50三種規(guī)格可選；
★HDPE高分子內(nèi)腔，熱幅射式蓋子，鈑金烤漆外殼，結(jié)構(gòu)緊湊，美觀大方；
★200W發(fā)熱部件，加熱速度快，表面熱均勻性高，PID高精度控溫系統(tǒng)；
★采用間接式傳動(dòng)方式，可靠的隔熱設(shè)計(jì)，避免加熱部件對(duì)電機(jī)性能影響；
★7寸全彩觸屏操作，自帶觸屏筆，圖形化人機(jī)界面，簡(jiǎn)單易用；
★帶一路自動(dòng)點(diǎn)膠端口，可升級(jí)自動(dòng)點(diǎn)膠功能，進(jìn)一步提高實(shí)驗(yàn)重復(fù)性；
★自帶排廢功能，便于廢膠的收集處理；
★可嵌入式設(shè)計(jì)安裝，降低高度放置在手套箱內(nèi)操作。
勻膠旋涂?jī)x應(yīng)用：在高速旋轉(zhuǎn)的基片上，滴注各類膠液，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上，厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同，也和旋轉(zhuǎn)速度及時(shí)間有關(guān)。
勻膠旋涂?jī)x能夠?qū)D(zhuǎn)盤進(jìn)行控溫，基片接觸式加熱，以實(shí)現(xiàn)在不同溫度下的控溫勻膠處理操作。設(shè)備采用觸屏式操作，鈑金烤漆外殼。采用發(fā)明的旋轉(zhuǎn)熱盤控溫結(jié)構(gòu)系統(tǒng)，控溫精度高、重復(fù)性好，技術(shù)先進(jìn)，設(shè)備性能優(yōu)良。勻膠旋涂?jī)x可以進(jìn)行邊加熱邊旋轉(zhuǎn)的勻膠操作，對(duì)提高膠體流動(dòng)性，加速溶劑揮發(fā)，勻膠后直接烤膠等操作提供了便利的解決方案。
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